一般不外乎机械、物理、化学或物理化学的方法.
机械法有:
1．变容真空泵

它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种。
往复式真空泵、旋片式真空泵、双液点胶机、定片式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真空泵、液环真空泵、干式真空泵、罗茨真空泵属于这一类。
2．动量传输泵

它依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。
分子真空泵水蒸汽喷射泵、扩散泵属于这一类。

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